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概述

微太中心主体位于成都,包括3栋大楼:

1、综合实验楼:包括国际一流的微系统设计平台以及国际一流的太赫兹测试设备和实验条件;

2、微系统洁净实验楼:包括6英寸化合物半导体微系统工艺、6英寸硅基MEMS工艺、微系统三维封装集成工艺和微纳电真空工艺。一期建筑面积7000㎡,洁净面积超过3000㎡,配置各类工艺设备和仪器超过120台套,将成为具有特色的国际一流的集成微系统工艺技术平台;

3、太赫兹自由电子激光实验楼:包括国际一流的大型自由电子激光强太赫兹源科学装置及其测试设备。


园区效果示意图